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![皮托科技Pitotech - 電漿(Plasma)在化學氣相沉積(CVD)製程之應用與特性-以COMSOL模擬電漿輔助化學氣相沉積(PECVD)系統 ...]()
www.pitotech.com.tw... 等都是電漿的行為呈現。電漿原理的了解和其特性之應用在近期是很熱門的主題，許多半導體晶圓製作過程都有運用電漿特性來改善製作 ...瀏覽：654 -
![電漿源原理與應用之介紹 - 中華民國物理學會 The Physical Society of Republic of China]()
psroc.phys.ntu.edu.tw物理雙月刊（廿八卷二期）2006 年4 月 441 環繞電流方向的時變磁場 (B)，此磁場穿透介電窗，於電漿腔中感應產生一與RF 電流反向之電場 (E)，此 電場加速電子並感應形成電漿電流 (Jp)。由於此電磁 感應機制與與變壓器原理相同，其中線圈為變壓器之瀏覽：1491
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